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Paramount HP 10013電源推出之後，Advanced Energy 的 Paramount 系列產品將會有更多選擇，新產品可以提供更大的功率輸出，有助於加快工藝速度以及提高產量
北京，中國 - Media OutReach - 二零二一年一月二十日 - Advanced Energy Industries, Inc. (Nasdaq: AEIS) 一直致力於開發各種先進的高精度電源轉換、測量和控制系統等解決方案，這方面的技術更一直領先全球。該公司推出一款全新的 Paramount HP 10013 射頻電源。新產品推出之後，該公司旗艦產品 Paramount RF (射頻) 電源系列將會有更多型號可供選擇。
Advanced Energy 的等離子工藝設備電源系統適用於半導體蝕刻、介電質蝕刻、沉積、濺鍍、離子植入等半導體和等離子薄膜工藝設備，Paramount HP 10013 沿用這種在市場一直居領導地位的等離子工藝電源技術，但性能則有進一步的提升，例如：Paramount HP 10013 可確保 Paramount 13.56MHz 平臺提供高達10kW的輸出功率，優點是能以較低的平均功率提供高能脈衝，以確保脈衝功率的準確性和可重複性。較高的功率可提升等離子密度和離子能量，以便支持更快更深的等離子蝕刻工藝步驟以及縮短沉積工藝時間，以滿足先進的高深寬比蝕刻工藝和新一代應用的要求。
Advanced Energy 半導體及計算產品高級副總裁 Peter Gillespie 表示：「目前市場上的許多產品，包括消費產品，娛樂設備、工業製品、計算系統以及運輸工具，幾乎全部都要採用積體電路。按照這個發展趨勢看，高精度工藝設備電源系統的應用將會越來越廣泛。我們的產業必須滿足這些不斷增加的需求，克服各式各樣的挑戰。Advanced Energy 的Paramount產品系列率先採用脈衝射頻技術，是業內首系列可批量生產的全數位射頻電源系統。Advanced Energy 今次推出更高功率的產品，讓我們的客戶可以利用創新的技術開發更為複雜的三維度系統架構和全新的物料。」
Paramount平臺的數字架構可支援精確的電源管理，而且無需更換硬體便可更快將新的功能集成一起。全數位控制功能可以追蹤等離子變化作出動態及即時的檢測，而且可以提供大功率的輸出，並確保性能的可重複性。內置的數位介面可確保平臺與其他射頻電源同步操作，也可無縫連接 Advanced Energy 一系列領先同業的 Navigator 和 Navigator II 數位匹配網路。Paramount系列平臺是目前半導體業最受歡迎的等離子工藝設備電源解決方案。
如欲進一步查詢這款產品的技術規格，可登入 Advanced Energy 公司網頁查閱Paramount系列的產品專頁。
Advanced Energy 簡介
Advanced Energy (納斯達克：AEIS) 致力為任務關鍵型應用和工藝設備設計並製造先進精密的電源轉換、測量和控制系統解決方案，這方面的技術一直領先世界。Advanced Energy 一直為客戶提供各種電源解決方案，讓客戶可針對不同工業的各種複雜應用，開發各種創新產品，其中包括半導體工業設備、工業製品、生產設備、電信設備、資料中心計算系統和護理設備。Advanced Energy 擁有工程技術方面的專業知識，而且致力為世界各地的客戶提供誠摯的服務與技術支援，因此已成功與客戶建立了緊密的合作夥伴關係，以便隨著科技的不斷發展，為客戶開發新一代創新的電源技術，以配合客戶未來的業務發展。Advanced Energy 總部位於美國科羅拉多州丹佛市，三十多年來一直致力為全球客戶提供盡善盡美的電源產品。如需進一步查詢相關資料，請登入www.advancedenergy.com網頁流覽。
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